МИХАЙЛЕНКО АЛЕКСАНДР АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к способу получения ультрадисперсного порошка нитрида алюминия, применяемому в радиотехнической и электронной промышленности в каче стве материала для подложек интегральных схем, и позволяет путем карботермическою восстановления азотирования при 1200 1400°С гранул у АЬ Оз с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм, полученных криохимическим методом с последующ...