ВАЛЕТОВ ВАДИМ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы и предназначено для нанесения защитных покрытий.Ыепь изобретения - повышение производительности .Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью отказной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давления 1...10 Па. Из сосуда-испарителя 3 в газопровод 1 подают галоид до давлен...