БУРДОНСКИЙ СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовой фазы и предназначено для нанесения защитных покрытий.Ыепь изобретения - повышение производительности .Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью отказной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давления 1...10 Па. Из сосуда-испарителя 3 в газопровод 1 подают галоид до давлен...

  Сущность изобретения: способ включает нагрев и выдержку в циркулирующей среде галогенидов насыщающих элементов (НЭ), образующихся при контакте исходной газовой среды с НЭ в виде чистых металлов, причем выдержку осуществляют постадийно, создавая на каждой стадии циркулирующую среду галогенидов только из одного из НЭ. Способ осуществляют в установке, содержащей футерованную нагрева...