ГЛУГОВСКИЙ АЛЕКСАНДР ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля формы поверхностей в оптическом и полупроводниковом приборостроении. Целью изобретения является расширение класса контролируемых поверхностей за счет возможности контроля как полированных, так и слабошероховатых поверхностей, а также повышение точности контроля за счет формирования одно...