Марголин В.И.

 Использование: в технологии наноструктурных пленок, в частности пленок с фрактальной структурой. Техническим результатом изобретения является разработка способа управляемого получения структурированных наноразмерных пленок, который позволил бы за один технологический цикл создать регулярную упорядоченную структуру, в частности фрактальную. Сущность изобретения: на подложку в вакууме осажд...