ГУКАСОВ АРСЕН АРТЮШЕВИЧ

  Изобретешь относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии ионной и ионнохнмической обработки материалов при производстве оптических деталей, элементов полупроводниковой микроэлектроники и интегральной оптики. Цель изобретения - повымение точности контроля. Контроль производят в процессе ионной обработки контролируемой детали и свидетеля, выполненного в в...