Свиридович О.Г.

 Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных сверхпроводников относится к технологии пленочной микроэлектроники и может быть использован в производстве больших и сверхбольших интегральных схем для получения элементов с применением сверхпроводящих эффектов, в частности СКВИДов. Цель изобретения - уменьшение качества пленок за счет уменьшения их шероховатости и повышение одно...