ЖУКОВ НИКОЛАЙ РОДИОНОВИЧ

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве полупроводниковых структур . Цель изобретения - улучшение планарности и уменьшение плотности дефектов в структуре. Способ включает нагрев исходных компонентов, гомогенизацию полученного раствора-расплава в защитной атмосфере, приведение подложки в контакт с раствором-расплавом в вакууме и после...