ФЕДОТОВА НАТАЛЬЯ ДМИТРИЕВНА

  Изобретение относится к технической физике, в частности к неразрушающим методам контроля качества полупроводниковых структур в микроэлектронике. Цель изобретения - расширение класса исследуемых плоскопараллельных пластин на пластины с меньшей толщиной при упрощении определения показателей преломления и поглощения плоскопараллельной пластины . Измеряют интерференционный спектр про...