Дшхунян В.Л.

 Использование: для измерения физико-механических параметров среды и для неразрушающего контроля диагностируемых объектов. Сущность: нанодатчик содержит чувствительный элемент - монокристаллический кремневый зонд, покрытый слоем благородного металла. Под зондом с зазором от долей нанометра до долей микрона расположена поликристаллическая кремневая мембрана с гофрами по краям, которая покры...