КРИВКО ТАТЬЯНА ВЯЧЕСЛАВОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение разрешающей способности. Пучок света формируется источником 1 когеретного излучения, проходит телескопическую систему 2, светоделитель 3 и фокусируется объективом 4 на отражающую поверхность объекта 11. Отраженный пучок света проходит объектив 4, светоделитель 3, объектив 5 и фокусируется на дифракционную...