КИЧКИНА ЗИНАИДА ВАСИЛЬЕВНА

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления интегральных элементов микроэлектронных устройств. Цель изобретения - снижение сопротивления контакта и повышение его стабильности. Цель достигается тем, что на кремниевые структуры электронно-лучевым испарением в вакууме при температуре подложки 270°С наносят пленку алюминия толщиной 60±...