МИКИШКА ЙОЗЕФ
Изобретатель МИКИШКА ЙОЗЕФ является автором следующих патентов:
Затвор реактора для газовой эпитаксии
Изобретение обеспечивает использование для уплотнения вращающегося штока подложкодержателя обычных употребляемых и допступных манжет и исключение при этом загрязнения кремниевых пластин в процессе эпитаксиального выращивания. Затвор содержит водоохлаждаемый фланец, по оси которого закреплен шток подложкодержателя. На штоке закреплено зубчатое колесо, соединенное с другим зубчатым...
1663061