САМОЙЛИДИ НИКОЛАЙ ПАВЛОВИЧ

  Изобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, а именно к технологии рентгенолитографии. Цель изобретения - снижение веса и габаритов стола, а также уменьшение разового минимального перемещения каретки - достигается тем, что каждый из механизмов перемещения выполнен в виде двуплечего рычага с двумя упругими элементами, точка опоры рычага...