Шойхет Г.Я.

 1. Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум, содержащее рабочую и шлюзовую камеры с затвором, съемный контейнер с подложкодержателем и затвором, расположенными в шлюзовой камере, шток с приводом возвратно-поступательного перемещения, соединенный с затвором шлюзовой камеры, и узел сцепления затворов контейнера и шлюзовой камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения надежност...