КОВАЛЕВ ЕВГЕНИЙ АНДРЕЕВИЧ

  Изобретение относится к технологическому оборудованию, например, для полупроводникового производства, может быть использовано для очистки полупроводниковых пластин в процессе центрифугирования и может быть применино с целью повышения производительности и качества очистки путем равномерной очистки всей площади изделий. Устройство содержит центрифугу с вакуумным держателем, очищаему...