ТАТУР ГЕННАДИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины пленок при производстве интегральных микросхем. Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых объектов за счет контроля пленок с шероховатой поверхностью путем повышения отношения сигнал/шум. Контролируемый объект облучают зондирующим и измерительным пучками в одной точке поверхно...