НЕСТЕРОВ А.А.

  Изобретение относится к полупроводниковой технологии н может быть использовано при необходимости прецизионной обработки жидкостными травителями структур антнмоннда индия для оптоэлектронных приборов. Целью изобретения является повышение воспроизводнмости толщины стравливаемого слоя за счет снижения скорости травления. Химическое полирование поверхности пластин и структур антимони...