ВОЛЬФГАНТ ЯНЧ

  Изобретение относится к технике выявления электрически активных примесей в полупроводниковых материалах. Цель изобретения - повышение точности измерения и определение разных типов примесей. Для образования слоя пространственного заряда в P - N-переходе полупроводниковых структур к образцу прикладывается обратное смещение. Образец 4 возбуждается до заполнения электрически активных...