ХАРИОНОВСКИЙ АЛЕКСАНДР ВАЛЕНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок. Цель - повышение точности измерения толщин пленок за счет исключения регистрации рассеянного света. На пленку с подложкой воздействуют светом, модулированным по интенсивности, наблюдают интерференционную картину в спектре фотоакустического сигнала, образу...