Козейкин Б.В.

  Изобретение относится к области технологии микроэлектроники, в частности к формированию локальных областей металлизации контактов. Целью изобретения является повышение выхода годных за счет исключения растрава металлизации и улучшение технологичности процесса за счет снижения его металлоемкости. Сущность изобретения заключается в следующем: на сформированную металлизированную разводку на...

 Использование: коррозионная защита металлических деталей (Д), обеспечивающая повышение коррозионной стойкости Д из сплавов на основе меди и алюминия с чистотой обработки поверхности ниже 13 класса. Сущность изобретения: Д из медного сплава с чистотой обработки поверхности по 11 классу подвергают химическому полированию. Затем осуществляют ионно-лучевую обработку Д ионами аргонами в два эт...