Богдевич Е.В.

 Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - повысить качество и разрешающую способность при производстве микроструктур, расширить спектр применяемых материалов. Пучок нейтральных атомов формируется на основе резонансного взаимодействия с полем стоячей волны монохроматического электр...