ГАРБУЗОВ ДМИТРИЙ ЗАЛМАНОВИЧ
Изобретатель ГАРБУЗОВ ДМИТРИЙ ЗАЛМАНОВИЧ является автором следующих патентов:
![Установка для получения многослойных полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур методом жидкофазной эпитаксии Установка для получения многослойных полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур методом жидкофазной эпитаксии](https://img.patentdb.ru/i/200x200/651179561fd157da7b1b29c28628101f.jpg)
Установка для получения многослойных полупроводниковых гетероэпитаксиальных структур методом жидкофазной эпитаксии
Изобретение относится к технологии полупроводников, в частности к технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом жидкофазной эпитаксии, и может быть использовано для получения квантово-размерных периодических структур с супертонкими активными слоями с целью создания на их основе, например, температурно-стабильных лазеров, быстродействующих транзисторов и т.д. Цель...
1674295