Чиркунов А.И.

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на операциях фотолитографии при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель изобретения расширение эксплуатационных характеристик устройства. Цель достигается выполнением в столике центрифуги кольцевого углубления по форме и размерам подложки, соединенного с магистралью сжатого газа. При этом выс...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть преимущественно использовано при изготовлении прецизионных микросхем, например фильтров на поверхностных акустических волнах, методом фотолитографии. Целью изобретения является повышение качества экспонирования за счет обеспечения более равномерного и плотного прижатия подложки к фотошаблону . В устройстве для совмещения и экс...