МИХАЛЬЦОВ ЕВГЕНИЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к электроннооптическим и ионно-оптическим устройствам с изменяемой формой сечения пучка и может быть использовано в установках электроннои ионно-лучевой литографии. Целью изобретения является повышение производительности устройства и уменьшение искажений формы пучка. Устройство содержит две фигурные диафрагмы и многоярусную систему отклонения пучка. Система...