ШЕЛЕХОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем, в лазерной технике при напылении материалов на кристаллы . Цель изобретения - воспроизводимость напыляемых пленок по толщине и повышение точности контроля. Устройство содержит датчик, выполненный в виде кварцевого резонатора с измерителем частоты, датчик с прозрачным для светово...