ГАРКУШИН ИВ АНАТОЛИЙ КИРИЛЛОВИЧ

  Изобретение относится к металлургии, в частности к разработке устройств, которые могут быть использованы для контроля процессов образования и разложения летучих соединений при нанесении покрытий из металлов (неметаллов) на металлических подложках. Цель изобретения - повышение качества покрытий и производительности устройства путем контроля и фиксирования температурного режима обр...