АБЛОВАЦКИЙ АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к получению искусственных кристаллов и обеспечивает уменьшение габаритов устройства и повышение удобства обслуживания, а также повышение производительности. Устройство содержит камеру роста, которая выполнена из верхней, нижней частей и поддона. Нижняя часть камеры снабжена средством горизонтального перемещения. Между частями камеры и поддоном размещены сред...

  Использование: получение монокристаллов кремния методом Чохральского. Сущность изобретения: расплавляют загрузку в тигле, вытягивают монокристалл на затравку в герметичной камере из не более 2/3 расплава, содержащегося в тигле, отрывают кристалл от расплава, отделяют кристалл от затравки и размещают его в стороне от оси вытягивания, проводят подпитку расплава и вытягивание следую...