ВОДОЛАГИН ЯКОВ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к контрольноизмерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет снижения погрешности сканирования.Устройство состоит из лазерного интерферометра с внутренней фазовой модуляцией с модулятором 6, схемы сканирования, выполненной в виде двух зеркальных гальванометров 8 и 9, фотоприемника 12 и фазового детектора 14, выход которого электрически св...