КОСТИЕНКО АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к измерению толщины материалов, например диэлектрического или магнитного слоя на слабопоглещающей подложке. Целью изобретения является повышение точности измерений, а также одновременное измерение толщины и диэлектрической или магнитной проницаемости исследуемого слоя на подложке В способе используют открытый резонатор типа Фабри-Перо, в котором образец вмес...