ОГОРОДНИК ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к приборостроению . Цель - повышение качества пьезопленки при высоких скоростях напыления. В качестве материала изотропной диэлектрической подложки берут плавленный кварц, предварительно облучив eroy-излучением с энергией в интервале 0,8 - 2 МэВ и дозой в пределах 105- 107 Р. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (51)5 Н 04 и 31/00 ГОСУДАРСТВЕННЪ|И...