ШИТАКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля электронно-ионных технологических процессов, а также при проведении физических и прикладных исследований с пучками заряженных частиц. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений, а также увеличение числа одновременно измеряемых параметров. При осуществлении способа зо...