СЕВАСТЬЯНОВ В.С.

  Изобретение относится к технике измерений параметров ионных пучков. Целью изобретения является повышение точности определения и расширение диапазона определяемых плотностей. Цель достигается тем. что в вакуумной камере, где размещают пластину пробного образца, подвергаемого облучению, после облучения его исследуемым пучком осуществляют лазерный пробоотборс регистрацией выделенных...