НАДИРАШВИЛИ МИХАИЛ СЕМЕНОВИЧ
Изобретатель НАДИРАШВИЛИ МИХАИЛ СЕМЕНОВИЧ является автором следующих патентов:
Способ получения многокомпонентных структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии
Изобретение относится к техноло ии полупроводниковых материалов, в частно сти к технологии выращивания многокомпонентных тонкопленочных структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии в соер вы соком вакууме. 06еспеиивает увеличение процента использования исходных компонентов Способ включает испарение исходных компонентов и осаждение слоев на подложку из молекулярных пучков, плотн...
1686043