КОНОНЧУК ИГОРЬ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится х технологическому оборудованию для получения диэлектрических слоев двуокиси кремния на подложках из арсенида галлия. Обеспечивает увеличение площади поверхности осаждения и повышение однородности слоев. Устройство включает реактор с вращающимся подложкодержателем (ПД). На ПД размещен источник излучения, содержащий анод и полый катоде рубашкой охлаждения. Вн...

  Иэобрбтйнке ОУН ГИГСЯ к микрозлехтронной технике, а именно к дозирующим устройствам бзрбстажиого тмпз дп выдачи определенной Аози парогйзовоЛ смеси. Целью изобретения является повышонме темности дознросания метагиюрганических соединений для япитэксиального процесса за счет повышения однородности парогззовой смеси. Газноситель через трубку G и се пористую рстэвку 7, выполненную вы...