PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КИТАЕВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ

Изобретатель КИТАЕВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ является автором следующих патентов:

Устройство для осаждения слоев из газовой фазы

Устройство для осаждения слоев из газовой фазы

  Изобретение относится х технологическому оборудованию для получения диэлектрических слоев двуокиси кремния на подложках из арсенида галлия. Обеспечивает увеличение площади поверхности осаждения и повышение однородности слоев. Устройство включает реактор с вращающимся подложкодержателем (ПД). На ПД размещен источник излучения, содержащий анод и полый катоде рубашкой охлаждения. Вн...

1686044