Рябинин И.В.

  Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано при разрушающих методах контроля влажности внутри корпусов интегральных схем. Целью изобретения является упрощение анализа, что достигается путем обеспечения возможности безэталонного анализа. Устройство для осуществления способа содержит камеру 1 разгерметизации, загрузочное окно 2, вак...