НИКОЛАЙЧУК ГРИГОРИЙ ПАВЛОВИЧ

  Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам измерения относительной плотности. Цель изобретения-повышение точности определения относительного изменения плотности при кристаллизации сплошной аморфной пленки любой толщины или ее участка. Аморфную пленку получа.ют лазерным распылением вещества в вакууме с последующей конденсацией параплазменного потока на подл...

  Использование: технология изготовления пленочных элементов в электронных и оптических приборах на твердом теле. Сущность изобретения: получение аморфных металлических пленок достигается за счет подавления поверхностной миграции адатомов в процессе распыления мишени слоем адсорбированного газа, не вступающего в реакцию с материалом пленки. Мишень испаряется импульсами лазерного из...