ЕВМЕНЬЕВ ЛЕОНИД АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в зондовых установках используемых в производстве интегральных микросхем Цель изобретения повышение надежности кон тактирования путем улучшения гсрмогтаби пизации положения зонда в пространстве При опускании зондовои головки в рабочее положение зонд 2 приводится в контакт с площадкой 9 Сила прижима определяется...