СТЕШЕНКО СЕРГЕЙ АНДРЕЕВИЧ

  Изобретение относится к методам анализа вещества с использованием ускорителей заряженных частиц и может быть использовано для определения дефектнопримесного состава материалов в электротехнической и электронной промышленности. Цель изобретения - повышение чувствительности анализа при возможности его осуществления на глубинах, превышающих величину пробега ионов. Перед облучением н...