ШУМИЛКИН НИКОЛАЙ СЕРГЕЕВИЧ

  Изобретение относится к лазерному термохимическому способу получения летучих гидридов элементов V-VI групп: Se, Те, Р, As, Sb высокой чистоты. Целью изобретения является повышение выхода продукта и увеличение производительности процесса. Поставленная задача достигается проведением взаимодействия предварительно нагретых до 400-1250К элемента и водорода на поверхности мишени, выпол...