ШТОКАН Регина (DE)

 Изобретение относится к области изготовления защищенных интегральных схем, а именно к способу изготовления полупроводникового элемента с проходящей, по меньшей мере, частично в подложке разводкой, а также самому полупроводниковому элементу. Согласно этапам способа изготовления предусмотрено выполнение, по меньшей мере, одного проходящего в полупроводниковой подложке и, по меньшей мере, од...