ЕВТУХОВ ЮРИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к технике глубокой очистки инертных газов и № от Оз, применяемойвпроизводстве полупроводников, содержащих Cd, Zn или Mg, и позволяющей повысить степень очистки . Устройство содержит вертикальный цилиндрический реактор со вставкой из керамики в форме стакана, расплавленный Cd, Zn или Mg, на дне вставки, нагреватель, патрубки ввода и вывода газа в верхней част...

  Использование: Электронная техника, а именно конструкции испарителей, используемых при получении пленочных полупроводниковых материалов из хелатных металлоорганических соединений (МОС). Сущность изобретения: в испарителе закрытого типа, содержащем корпус 1, входные и выходные патрубки 3 над поверхностью испарения,соосно с ней и испарителем, расположен защитный экран 5 с зазором п...