ДАШАНИМАЕВ ДАША МИЖИТОВИЧ

  Изобретение относится к устройствам для обработки полупроводниковых материалов и может быть использовано при подготовке образцов полупроводниковых монокристаллов с атомарно-чистой поверхностью . Цель изобретения заключается в повышении надежности работы устройства. Для этого оно снабжено размещенным в вакуумной камере корпусом 1, в котором установлен держатель кристалла 2. выполн...