ХАРИТОНОВ ИЛЬЯ ЮРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области технической Физики и может быть использовано в аппараг/ре для анализа тонких приповерхностных слоев монокристаллов методом регистрации вторичной эмиссии. Целью изобретения является расширение возможностей исследования и повышение его производительности. Узел регистрации вторичной эмиссии выполнен в виде газонаполненной камеры, внутри которой размещ...