Костюк Е.А.

 Изобретение предназначено для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в микроэлектронике для изготовления тонкопленочных элементов ГИС и интегральных микроприборов. Целью изобретения является увеличение прочности сцепления мишени с катодом и упрощение способа нанесения покрытия. Цель достигается тем, что на нерабочую поверхность мишени и катод наносят в вакууме покрытие из...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов различного назначения, в частности, при изготовлении межсоединений в транзисторах, интегральных микросхемах и других функциональных тонкопленочных устройствах с повышенными требованиями по адгезии и электросопротивлению. На кремниевую подложку с диэлектрическим слоем методом термич...