ШАФЕЕВ ГЕОРГИЙ АЙРАТОВИЧ

  Изобретение относится к оборудованию для лазерной обработки в микроэлектронике при производстве фотошаблонов больших и сверхбольших интегральных схем. Целью является повышение эффективности Изобретение относится к оборудованию для лазерной обработки с визуальным контролем в микроэлектронике при производстве фотошаблонов больших и сверхбольших интегральных схем. Целью является пов...