СКОЛОТОВ ОЛЕГ ВИКТОРОВИЧ

  Иэобрбтйнке ОУН ГИГСЯ к микрозлехтронной технике, а именно к дозирующим устройствам бзрбстажиого тмпз дп выдачи определенной Аози парогйзовоЛ смеси. Целью изобретения является повышонме темности дознросания метагиюрганических соединений для япитэксиального процесса за счет повышения однородности парогззовой смеси. Газноситель через трубку G и се пористую рстэвку 7, выполненную вы...