ЖОГЛИК ИГОРЬ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к области физического приборостроения и касается нанесениязащитных покрытий исннз-пг ззменным методом, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей. Поставленная цель достигается тем, что мэсс-анелизатор 1 выполнен с возможностью поворота его на 180° относительно оси, проходящей через точку перегиба траектории движения ионов в дв...