ИСАКОВ ИВАН ФАЛАЛЕЕВИЧ

  Изобретение относится к нанесению покрытий для целей электроники. Цель изобретения -сохранение плотности пленок при уменьшении их толщины. Тонкие покрытия плотной структуры получены ионным распылением мишени при использовании пучка ионов атомной массы М^^12, с длительностью пучка ^10'^с и плотностью мощности, обеспечивающей высокоскоростное ос.аждение плотной плазмы на подложку. З...